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新型光整加工方法机械化学研磨的相关介绍-伟名石墨

机械力化学磨削是利用软磨粒与工件接触处产生的机械力化学现象,去除工件表面的微小物质。新型光整加工方法近年来在生产加工领域得到了广泛的应用。其主要优点是经济性好,生产率高,半导体等晶体加工精度高。

1. 湿式机械力化学研磨

湿式机械化学研磨可用于硅片的最终整理。它使用直径为0.01微米的二氧化硅磨料微粉,将胶体液体均匀地混合在弱碱溶液中作为磨料剂。质地细腻的软泡沫多胺人造革..

磨削时,工件直径大,没有柔软的皮革网状平面,因此在高速,高压条件下,工件可在棉卷的磨料层的表面之间形成。棉卷的表面不规则性,尽管轻微,有的另一工件的接触位置,风和雨,但该磨料工件和研具之间均普遍。当处理时,在晶片表面可以软搭接和磨料除去水膜的形成。因此,抛光不是直接由搭接的机械作用,但除去由棉卷水合膜生产的,因此,可以进行良好的研磨。

然而,这些新型光整加工方法与上述并不完全相同,由于水化膜有时断裂,硅片表面将存在加工缺陷。然而,这些缺陷可以通过清洗或HF水溶液腐蚀来消除,并且仍然可以得到没有任何加工缺陷的表面..增加磨削压力或减少磨削液的供应,增加了硅片表面的缺陷;当磨削速度增加时,由于水表面的漂浮现象,使磨削液膜层增厚,从而减少了硅片的表面缺陷。

为了降低磨削效率,机械化学磨削可分为两个步骤: 第一步是使用粗磨料和通风良好的研磨工具,为了使研磨液膜变薄,利用磨料和工具表面的机械作用破坏水化膜,使研磨工具和硅片直接接触,从而提高研磨效率。

2.干机械和化学研磨

干式化学抛光搭接作为玻璃板,软二氧化硅研磨剂抛光蓝宝石。研磨,在二氧化硅的表面和蓝宝石之间的接触会产生化学反应,以产生软容易地除去富铝红柱石,使得高质量的工件表面上。

干机械化学磨削的特点如下:

(1)化学反应范围小,有利于加工,磨料粉反应性强,可明显提高磨削效率,甚至比1微米粒度的金刚石粉还要高。

(2)工件表面不会产生划痕,即使使用300摄氏度的热磷酸蚀,也不会出现加工缺陷,因此磨削后的工件可以获得良好的镜面。

(3)研磨刀具磨削后采用玻璃板制成,研磨过程中研磨刀具几乎没有弹性变形,工件形状的边缘不会塌陷。

在生产过程中,有研磨的方法很多,抛光只是上述化学机械抛光的网站上常见的新型光整加工方法之一。对于加工企业,生产加工时间必须根据其自身的特点选择适合自己的工作方法,这样不仅提高工作效率,而且成本高。

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